鎢錸探針
半導體測試探針要求材料具有高純度和高精度，可以是採用錸鎢合金製作而成的合金探針，也可以是採用純鎢製成的純鎢探針。
其中，錸鎢合金的接觸電阻比鎢稍高而抗疲勞性相似。相對於純鎢來說，錸鎢合金的晶格結構更加緊密，因此錸鎢探針頂端的平面更加光滑。這意味著錸鎢探針的頂端被污染的可能性更小，更容易清潔，其接觸電阻也比鎢更加穩定。
在半導體測試中，探針的其他參數也會影響到測試結果，如針尖的直徑與形狀、觸點壓力以及探針臺的平整度，等等。因此，鎢錸探針具有超細針尖，表面光滑無傷，光潔度能達到Ra0.25以上。
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