熱區(qū)
熱區(qū)是高溫爐的關(guān)鍵部件，影響著整個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)行。高溫工藝中的各種關(guān)鍵因素包括溫度分佈、工藝純度和能耗都與熱區(qū)直接相關(guān)。在 1000℃ 至 2800℃ 的工作溫度下，金屬熱區(qū)是各種高溫爐的首選。
全金屬熱場中的所有零件均由金屬製成。主要金屬為鉬、鉬鑭、TZM、鎢和鉭等。最常用的金屬是鉬，其環(huán)境溫度範(fàn)圍一般為1000-2500℃。環(huán)境溫度高於2500℃需要用鎢，低於1000℃可以使用鋼等普通耐熱金屬。一般高溫爐、晶體生長爐和藍(lán)寶石生長爐中的熱區(qū)為全金屬熱區(qū)。
熱區(qū)形狀可為方形垂直、方形水準(zhǔn)、圓形垂直和圓形水準(zhǔn)。一般由爐體、隔熱屏和支架組成，包括不銹鋼桶、不銹鋼桶內(nèi)設(shè)鎢筒，鎢筒內(nèi)設(shè)加熱籠，加熱籠內(nèi)設(shè)坩堝、鎢筒底部設(shè)有坩堝支架，坩堝支架與鎢筒之間設(shè)有下鉬隔熱屏，鉬隔熱屏上設(shè)有氧化鋯纖維板，使熱場的溫度梯度一致。籽晶夾頭組件包括籽晶桿，被掛在加熱籠組件內(nèi)，並伸入坩禍內(nèi)用於提拉晶體。
熱區(qū)在直徑、形狀和設(shè)計(jì)方面多種多樣。因此，我們可以根據(jù)您的高溫爐和工作溫度，確保提供最優(yōu)的熱區(qū)：
設(shè)計(jì) |
方向 |
溫度（℃） |
可用空間（mm） |
防護(hù)層 |
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直徑 |
寬度 |
高度 |
長度 |
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圓形 |
垂直 |
>1,650~2,500 |
<500d> |
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>50 |
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W + Mo |
圓形 |
垂直 |
<1,650d> |
<500d> |
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>200 |
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ML + Mo |
圓形 |
垂直 |
<1,650d> |
>500 |
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>500 |
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ML + Mo |
圓形 |
水準(zhǔn) |
<1,650d> |
>200~< 500d> |
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<500d> |
ML + Mo |
圓形 |
水準(zhǔn) |
<1,650d> |
>500 |
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>400 |
ML + Mo |
角形 |
水準(zhǔn) |
<1,650d> |
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>400 |
>400 |
>400 |
ML + Mo |
熱區(qū)形狀：
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