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蒸鍍型鎢舟

鎢舟

簡(jiǎn)介

蒸發(fā)鎢舟或鍍膜鎢舟是鎢舟的別名,鎢舟廣泛應(yīng)用于蒸鍍行業(yè)。蒸鍍型鎢舟具有高熔點(diǎn),低的飽和蒸氣壓和穩(wěn)定的化學(xué)性能,被大量用于真空蒸發(fā)鍍膜行業(yè)中電阻式蒸發(fā)源。蒸鍍型鎢舟作為真空鍍膜設(shè)備中必不可少的部件,對(duì)鎢舟的選擇決定了鍍膜的質(zhì)量。當(dāng)蒸鍍型鎢舟蒸發(fā)鍍膜材料的時(shí)候,材料的熔點(diǎn)不能高于鎢舟的熔點(diǎn),否則就沒(méi)有辦法進(jìn)行。

生產(chǎn)工藝

蒸鍍是將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華,使之在工件或基片表面析出的過(guò)程。蒸鍍型鎢舟的制備工藝與沖壓型鎢舟類(lèi)似,區(qū)別之處是前者在舟蓋上打了蒸汽孔。

用途

蒸鍍型鎢舟還廣泛應(yīng)用于電阻蒸發(fā)源。它的工作方法是,先將鎢舟安裝在兩個(gè)電極中間,在鎢舟中央加上材料,再慢慢的給電極進(jìn)行通電,電流通過(guò)鎢舟后,鎢舟通電發(fā)熱,這些低電壓,大電流會(huì)使高熔點(diǎn)的鎢舟產(chǎn)生熱量,再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料,當(dāng)鎢舟的熱量高于鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候,材料就升華或者蒸發(fā)了。

優(yōu)點(diǎn)

蒸鍍型鎢舟的而外觀與沖壓型鎢舟相似,不同之處在于該類(lèi)型鎢舟表面有蒸汽孔,有利于材料的升華和蒸發(fā),提高鍍膜效率。

缺點(diǎn)

蒸鍍型鎢舟在進(jìn)行蒸鍍時(shí)需要在較高真空的環(huán)境下工作。對(duì)工作環(huán)境要求比較高。

物理性能

顏色 熔點(diǎn)℃ 密度g/cm3 純度% 公差(mm)
銀白色 3407 19.35 99.95 ±0.1

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