熱區(qū)
熱區(qū)是高溫爐的關(guān)鍵部件,影響著整個系統(tǒng)的運行。高溫工藝中的各種關(guān)鍵因素包括溫度分布、工藝純度和能耗都與熱區(qū)直接相關(guān)。在 1000℃ 至 2800℃ 的工作溫度下,金屬熱區(qū)是各種高溫爐的首選。
全金屬熱場中的所有零件均由金屬制成。主要金屬為鉬、鉬鑭、TZM、鎢和鉭等。最常用的金屬是鉬,其環(huán)境溫度范圍一般為1000-2500℃。環(huán)境溫度高于2500℃需要用鎢,低于1000℃可以使用鋼等普通耐熱金屬。一般高溫爐、晶體生長爐和藍寶石生長爐中的熱區(qū)為全金屬熱區(qū)。
熱區(qū)形狀可為方形垂直、方形水平、圓形垂直和圓形水平。一般由爐體、隔熱屏和支架組成,包括不銹鋼桶、不銹鋼桶內(nèi)設(shè)鎢筒,鎢筒內(nèi)設(shè)加熱籠,加熱籠內(nèi)設(shè)坩堝、鎢筒底部設(shè)有坩堝支架,坩堝支架與鎢筒之間設(shè)有下鉬隔熱屏,鉬隔熱屏上設(shè)有氧化鋯纖維板,使熱場的溫度梯度一致。籽晶夾頭組件包括籽晶桿,被掛在加熱籠組件內(nèi),并伸入坩禍內(nèi)用于提拉晶體。
熱區(qū)在直徑、形狀和設(shè)計方面多種多樣。因此,我們可以根據(jù)您的高溫爐和工作溫度,確保提供最優(yōu)的熱區(qū):
設(shè)計 |
方向 |
溫度(℃) |
可用空間(mm) |
防護層 |
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直徑 |
寬度 |
高度 |
長度 |
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圓形 |
垂直 |
>1,650~2,500 |
<500d> |
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>50 |
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W + Mo |
圓形 |
垂直 |
<1,650d> |
<500d> |
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>200 |
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ML + Mo |
圓形 |
垂直 |
<1,650d> |
>500 |
|
>500 |
|
ML + Mo |
圓形 |
水平 |
<1,650d> |
>200~< 500d> |
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<500d> |
ML + Mo |
圓形 |
水平 |
<1,650d> |
>500 |
|
|
>400 |
ML + Mo |
角形 |
水平 |
<1,650d> |
|
>400 |
>400 |
>400 |
ML + Mo |
熱區(qū)形狀:
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