鎢錸探針


半導(dǎo)體測(cè)試探針要求材料具有高純度和高精度,可以是採(cǎi)用錸鎢合金製作而成的合金探針,也可以是採(cǎi)用純鎢製成的純鎢探針。
其中,錸鎢合金的接觸電阻比鎢稍高而抗疲勞性相似。相對(duì)於純鎢來(lái)說(shuō),錸鎢合金的晶格結(jié)構(gòu)更加緊密,因此錸鎢探針頂端的平面更加光滑。這意味著錸鎢探針的頂端被污染的可能性更小,更容易清潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。
在半導(dǎo)體測(cè)試中,探針的其他參數(shù)也會(huì)影響到測(cè)試結(jié)果,如針尖的直徑與形狀、觸點(diǎn)壓力以及探針臺(tái)的平整度,等等。因此,鎢錸探針具有超細(xì)針尖,表面光滑無(wú)傷,光潔度能達(dá)到Ra0.25以上。
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